微电子院牵头开展硅光MEMS国家标准建设工作

　　12月10日，SAC/TC336全国微机电技术标准化技术委员会硅光MEMS标准化工作组成立大会在中国兵器工业集团微电子院召开，标志着由微电子院牵头的硅光MEMS国家标准建设工作正式起航。

　　硅光MEMS是集合了微电子、微机械和光电子技术交叉融合的前沿技术，在数据通讯、生化医疗、自动驾驶、国防安全等领域应用前景广阔，目前标准领域尚为空白，亟待建立国家甚至国际标准。

　　微电子院MEMS技术位居国内前列，此次作为工作组牵头单位，将积极协同高校、科研院所和上下游企业，在国标委的指导下，围绕硅光MEMS技术和产业发展，加快国家标准制定，广泛开展科研项目和产业合作，助推我国硅光MEMS产业持续健康发展。

　　来源/微电子院 文/苏杨 朱震星